Чистота в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем
Язык: русский.Выходные данные: Москва : Энергия, 1975Физическая характеристика: 209 с. : ил. ; 22 см.Примечания: Перед загл. авт.: И.Д. Голото, Б.П. Докучаев, Г.Д. Колмогоров.Библиография: Список лит.: с. 203-207 (90 назв.).Предметная рубрика - Тема: Микроэлектронные схемы, интегральные -- Производство | Полупроводниковые приборы -- ПроизводствоКоллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 74-3/7352 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 7351289-10 |
Перед загл. авт.: И.Д. Голото, Б.П. Докучаев, Г.Д. Колмогоров
Список лит.: с. 203-207 (90 назв.)