Особенности абразивной и химической обработки поверхности полупроводников : Монография
Язык: русский.Выходные данные: Н. Новгород : Изд-во Нижегород. ун-та, 1992Физическая характеристика: 195, [3] с. : ил. ; 21 см.ISBN: 5-230-04179-X Библиография: Библиогр.: с. 189-196 (134 назв.).Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 93-5/1265 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | Доступно | 5351126-10 |
Библиогр.: с. 189-196 (134 назв.)