Диффузионные процессы в микроэлектронной технологии : учебное пособие / В.И. Чепурнов, В.А. Покоева, К.П. Сивакова ; Федер. агентство по образованию, Гос. образоват. учреждение высш. проф. образования "Сам. гос. ун-т", Каф. электроники твердого тела
Язык: русский.Выходные данные: Самара : Самарский университет, 2008Физическая характеристика: 45 с. : ил. ; 21 см.Библиография: Библиогр.: с. 45 (16 назв.).Предметная рубрика - Тема: Полупроводники -- Учебные издания для высших учебных заведений -- Диффузия Другие классификации: В379.256я73-1Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 2009-4/4385 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 162 | Доступно | 2880149 |
диффузия в полупроводниках
Библиогр.: с. 45 (16 назв.)