Подробности: Высоскоростное травление нитрида галлия в плазме гексафторида серы, нагреваемой СВЧ-излучением с частотой 24 ГГц в условиях ЭЦР

Книга

Высоскоростное травление нитрида галлия в плазме гексафторида серы, нагреваемой СВЧ-излучением с частотой 24 ГГц в условиях ЭЦР / А.В. Водопьянов, С.В. Голубев, Д.А. Мансфельд [и др.]

Автор (Альтер.): Водопьянов, Алексей Валентинович, Автор ;
Голубев, Сергей Владимирович (д-р физ.-мат. наук), Автор ;
Мансфельд, Дмитрий Анатольевич, АвторЯзык: русский ; резюме, английский.Выходные данные: Нижний Новгород : [б. и.], 2010Физическая характеристика: 12 с. : ил. ; 21 см.Серия: Препринт ; N°800Примечания: Рез. на англ. яз..Библиография: Библиогр.: с. 11-12 (24 назв.).Предметная рубрика - Тема: Нитриды галлия -- Травление -- Плазмохимические методы Другие классификации: З843.324.408Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга

Экземпляры
Тип экземпляра	Текущая библиотека	Шифр хранения	Кол-во копий	Статус	Срок возврата	Штрих-код
Книга	РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года	2011-4/522 (Просмотр полки(Открывается ниже))	6911	Доступно		1-49775
Книга	РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года	2011-4/522 (Просмотр полки(Открывается ниже))	6911	Доступно		3341130

Рез. на англ. яз.

Библиогр.: с. 11-12 (24 назв.)