Технология очистки подложек микро- и наноэлектроники, учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки 211000 "Конструирование и технология электронных средств" и 210100 "Электроника и наноэлектроника"
- 120 экз.9785815808676/[2012-15044]/русский (rus)/Технология очистки подложек микро- и наноэлектроники : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки 211000 "Конструирование и технология электронных средств" и 210100 "Электроника и наноэлектроника" / В.Е. Филимонов, Н.И. Сушенцов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Гос. образоват. учреждение высш. проф. образования "Мар. гос. техн. ун-т".Технология очистки подложек микро- и наноэлектроники : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки 211000 "Конструирование и технология электронных средств" и 210100 "Электроника и наноэлектроника" / В.Е. Филимонов, Н.И. Сушенцов.Технология очистки подложек микро- и наноэлектроники : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки 211000 "Конструирование и технология электронных средств" и 210100 "Электроника и наноэлектроника".Йошкар-Ола/МарГТУ/, 2011 ( ). - МарГТУ, 2011. - 159 с. : ил. ; 20 см.Технология очистки подложек микро- и наноэлектроники : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки 211000 "Конструирование и технология электронных средств" и 210100 "Электроника и наноэлектроника". Йошкар-Ола, 2011 .
Библиогр.: с. 157-159 (24 назв.). Библиогр.: с. 157-159 (24 назв.).Интегральные схемы -- Подложки -- Обработка -- Учебные издания для высших учебных заведений/З844.1-060.14я73-1/З844.15-06я73-1/
Библиогр.: с. 157-159 (24 назв.). Библиогр.: с. 157-159 (24 назв.).Интегральные схемы -- Подложки -- Обработка -- Учебные издания для высших учебных заведений/З844.1-060.14я73-1/З844.15-06я73-1/