Использование математического моделирования в исследовании, разработки и оптимизации фотолитографических процессов / Ивин В. В., Махвиладзе Т. М.
Язык: русский ; резюме, английский.Выходные данные: М. : МАКС-пресс, 2000Физическая характеристика: 30 с. : ил. ; 21 см.Серия: Препринт ; N 22Библиография: Библиогр.: с. 28-30.Предметная рубрика - Тема: Интегральные схемы -- Производство -- Фотолитографический метод -- Авторефераты диссертаций Неконтролируемые предметные термины: Фотолитография - математические исследования | Микроэлектронные схемы интегральные - производство - математические исследованияУДК: 776.001.573, 3, rusДругие классификации: ( ) 18.31 ; ( ) 37.83 ; З844.15-06Коллекция: Национальная библиография Тип экземпляра: Книга| Тип экземпляра | Текущая библиотека | Шифр хранения | Кол-во копий | Статус | Срок возврата | Штрих-код | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 2001-4/4252 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 1989 | Доступно | 108511 | ||
| Книга | РНБ (Московский) Русский книжный фонд: издания с 1957 года | 2001-4/4252 (Просмотр полки(Открывается ниже)) | 1989 | Доступно | 108512 |
интегральные схемы
Библиогр.: с. 28-30