Mathematical simulation of transport processes of species in gas phase in modern sputter-deposition technologies of thin films / A. A. Fursenko, T. A. Khantuleva, Yu. N. Makarov, M. S. Ramm
Тома: Показать записиЯзык: английский ; резюме, русский.Выходные данные: St.-Petersburg : ФТИ, 1992Физическая характеристика: 20 см см.Серия: Preprint Примечания: На обороте тит. л.: Математическое моделирование процессов переноса реагентов в подложке в современных технологиях осаждения тонких пленок / А. А. Фурсенко и др.; На обл. надзаг. на рус. яз.; Рез. на рус. яз..Библиография: Библиогр. в конце томов.Предметная рубрика - Тема: Тонкие пленки -- Осаждение -- Математическое моделирование Другие классификации: ( ) З844.13-01с11 馆藏类型： Книга此纪录无实体馆藏
На обороте тит. л.: Математическое моделирование процессов переноса реагентов в подложке в современных технологиях осаждения тонких пленок / А. А. Фурсенко и др.
На обл. надзаг. на рус. яз.
Рез. на рус. яз.
Библиогр. в конце томов